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(来源:上观新闻)
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未来,这类纳🔪🚸米机器人有望🕠🈚在微生物学🔮、生物医🤠⏹学以及🥕🧟♀️微尺度精准操控🥉🚂等领域发🚺挥重要作用🕧。因此,半导体制造📵的未来重🗺点,或将从单纯📑4️⃣依靠光刻🦑机缩小🌗🤭特征尺🥤寸,转向更复🎷🇫🇮杂关键的刻🇺🇸蚀与薄膜沉积🇱🇹工艺🇰🇷3️⃣。